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無隔振臺的動態(tài)干涉儀4D技術(shù)“PhaseCam6000”分析

無隔振臺的動態(tài)干涉儀4D技術(shù)“PhaseCam6000"分析

具有的“動態(tài)干涉測量"(30微秒標(biāo)準(zhǔn))的超快干涉測量4D Technology的“動態(tài)干涉測量"可以在振動不可避免的地方以及遠(yuǎn)處移動的物體和樣品進(jìn)行測量。 

輕巧緊湊 輕巧緊湊的設(shè)計(jì),機(jī)身尺寸約為 15×15×9 厘米,重量約為 9 公斤。 它非常便攜,可以安裝在任何地方。

光學(xué)系統(tǒng)中自由度大的特威曼格林型干涉儀

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用于發(fā)散光束、50mm 和 100mm 擴(kuò)束鏡的透鏡(可選)

光學(xué)取景器,可輕松調(diào)整光軸外部波長穩(wěn)定激光器可實(shí)現(xiàn)廣泛的光源選擇。

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傳統(tǒng)的相移干涉儀使用壓電陶瓷元件來移動參考表面并捕獲干涉條紋的圖像。 以計(jì)算相位分布。 單次測量至少需要 100 毫秒或更長時間。 在這兩者之間,干涉條紋由于干涉儀和測量樣品之間的相對振動和空氣波動而波動。 這可能會導(dǎo)致測量誤差。 為了防止這種情況,需要光學(xué)面板,隔振裝置,擋風(fēng)玻璃等。 因此,我們別無選擇,只能排除不能采取此類措施的測量目標(biāo)。 
4D技術(shù)的動態(tài)干涉儀通過的動態(tài)干涉測量解決了這些問題 這是一個革命性的制度。
“動態(tài)干涉測量"不會機(jī)械移動參考平面,單張可捕獲4幅圖像 獲得了羅姆的相移干涉圖像。 對單個相機(jī)的每個像素執(zhí)行相移。 可以持續(xù)收集數(shù)據(jù),測量時間可以減少到30微秒。 因此,在干涉圖像因振動等原因而發(fā)生變化之前,測量在瞬間完成。
這使得在振動不可避免的環(huán)境中進(jìn)行測量,以及測量遠(yuǎn)處的樣品和移動物體成為可能。 可以在固定或腔室中進(jìn)行環(huán)境測試期間測量樣品。

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